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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
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307 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6637
306 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7072
305 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7209
304 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7605
303 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7647
302 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7702
301 MFP에 대해서.. [1] 7820
300 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8030
299 고온 플라즈마 관련 8090
298 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8093
297 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8117
296 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
295 핵융합에 대하여 8563
294 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8565
293 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8578
292 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8585
291 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8614
290 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8622
289 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8699
288 수중플라즈마에 대해 [1] 8738
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