안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.


만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5811
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17216
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53083
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64489
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85103
198 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 996
197 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 993
196 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 979
195 Group Delay 문의드립니다. [1] 976
194 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 972
193 플라즈마 코팅 [1] 967
192 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 959
191 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 945
190 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 937
189 RF 전압과 압력의 영향? [1] 932
188 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 926
187 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 924
186 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 924
185 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 921
184 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 919
183 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 917
182 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 911
181 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 905
180 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 897
179 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 881

Boards


XE Login