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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님]
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CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전]
[1] | 7770 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power]
[2] | 1376 |
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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320 |
SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [반응성 기체 생성]
[1] | 5757 |
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코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient]
[1] | 6346 |
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정]
[4] | 9095 |
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317 |
모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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316 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간]
[2] | 2694 |
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315 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [Sputtering 및 particle issue]
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314 |
Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과]
[1] | 1562 |
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313 |
RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage]
[2] | 4296 |
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312 |
안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법]
[1] | 18043 |
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311 |
플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
[1] | 1486 |
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310 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG]
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309 |
플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지]
[1] | 2099 |
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308 |
N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정]
[1] | 11972 |
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307 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수]
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306 |
PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전]
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305 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
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