ATM Plasma 상압 플라즈마 관련 문의입니다.
2008.10.10 16:12
안녕하세요..
상압 플라즈마 관련 업체에서 근무중인 김형석이라고 합니다.
다름이 아니라, 저희가 RF 플라즈마를 이용한 세정 장비를 개발 중에 있습니다.
모듈을 방전시 외부에 온도 라벨을 붙여 테스트 한결과, 약 7분 정도 지났을때, 접지 전극 온도가 약70도 정도 였습니다.
그러나, 그 순간 접지 전극이 휘는 현상이 발생하였습니다.
접지 전극을 새것으로 바꾸어도 마찬기지 현상이 발생합니다.
제 생각으로는 플라즈마가 불균일 하여, 생긴 현상이라 생각됩니다.
이에 대한 좋은 가르침 주시면 감사하겠습니다.
저희 장비는 리모트 타입으로써, 상부 전극은 Ag Paste에 절연체로는 세라믹을 사용중이며,
하부 전극은 알루미늄 아노다이징(60um)를 사용 중입니다.
전원은 RF를 사용 중입니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73081 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17644 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65739 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86110 |
| 207 |
전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1]  | 20944 |
| 206 | N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] | 23394 |
| 205 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19109 |
| 204 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21192 |
| 203 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24330 |
| 202 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 25463 |
| 201 | 몇가지 질문있습니다 | 16540 |
| 200 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21634 |
| 199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17493 |
| 198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29364 |
| 197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 17912 |
| 196 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19279 |
| 195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19252 |
| 194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22380 |
| 193 | 플라즈마 측정기 [1] | 21226 |
| 192 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 21965 |
| 191 | Arcing [1] | 27726 |
| 190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24599 |
| 189 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 17944 |
| 188 | 궁금해서요 | 16288 |
하지만 간단하게 제 생각을 말씀드리겠습니다.
- 전극이 휘는 일은 저희도 경험을 합니다. 당연히 가열에 의해서 인데 적절한 방법이란 대상체 (전극)의 열용량을 늘리거나, 냉각을 효율적으로 하는 방법 밖에는 없는 것 같습니다. 플라즈마의 불 균일은 휘어진 전극에서 상부 전극간의 거리가 가까와지면 전기장에 커지고 방전은 몰리게 되는 경우가 발생합니다. 따라서 원인은 아니겠습니다.
- 저희는 세라믹의 두께를 조금 더 두꺼운 것을 사용해서 문제를 푼 경험이 있습니다. 즉 열용량에 대한 문제가 됩니다. 하지만 이 또한 완전한 해법은 아닙니다. 방전 전력이 커지면 또 생길 수 있습니다. 이를 위해서 때로는 보조 냉각이 필요하게 되어 carrier gas로 고속의 가스를 추가하기도 합니다. 헬륨이 냉각 효율이 좋아 사용에 참고하시면 좋습니다.
- 도움이 되었을지 모르겠습니다. 좋은 결과 얻기를 희망합니다.