PM을 한번 하시죠

2009.03.13 09:01

보석이 조회 수:19727 추천:239

챔버 내부 Clean을 한번 하시죠

Polymer가 많이 나오면 Etch rate이 떨어지고 Throttle v/v의 angle이 변하는 경우도 있습니다.

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