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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64551
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192 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 980
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190 RF 전압과 압력의 영향? [1] 954
189 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 953
188 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 944
187 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 942
186 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 935
185 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 934
184 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 929
183 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 929
182 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 928
181 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 921
180 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 915
179 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 907
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