안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
283 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1412
282 ICP lower power 와 RF bias [1] 1404
281 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1399
280 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1395
279 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
278 플라즈마 관련 교육 [1] 1384
277 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1383
276 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
275 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1365
274 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1363
273 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1352
272 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1338
271 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
270 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1332
269 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1328
268 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1322
267 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
266 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1318
265 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1317
264 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1307

Boards


XE Login