안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20189
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
289 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1425
288 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
287 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1418
286 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1409
285 플라즈마 관련 교육 [1] 1406
284 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
283 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1395
282 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1388
281 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1386
280 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1378
279 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1376
278 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1375
277 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1370
276 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1354
275 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1353
274 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1349
273 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1345
272 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1332
271 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
270 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1324

Boards


XE Login