Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
2020.10.28 15:20
안녕하십니까
반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.
궁금한게 있어서 문의 드립니다.
O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73076 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17643 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65730 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86105 |
| 187 | 플라즈마 코팅 [1] | 975 |
| 186 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 968 |
| 185 | ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] | 945 |
| 184 | plasma 형성 관계 [1] | 941 |
| 183 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 932 |
| 182 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 920 |
| 181 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 913 |
| 180 | wafer bias [1] | 912 |
| » |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 910 |
| 178 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 909 |
| 177 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 900 |
| 176 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 900 |
| 175 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 899 |
| 174 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 896 |
| 173 | 알고싶습니다 [1] | 896 |
| 172 | 공정플라즈마 [1] | 895 |
| 171 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 893 |
| 170 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 892 |
| 169 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 891 |
| 168 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 887 |