Others QMA에 관하여

2004.06.19 16:02

관리자 조회 수:19417 추천:307

저는 지금 플라즈마 진단을 위하여 QMA를 사용하고 있습니다.
RGA mode와 Ion mode가 있는데.. 차이점을 알고 싶습니다.
제가 사용하는 system은 electron beam의 에너지를 control이 가능한데..

1. RGA mode에서 electron beam의 에너지를 0eV로 한 경우와
    Ion mode의 차이점을 알고 싶습니다.

2. Plasma를 여기시킨 상태에서 RGA mode를 사용하는 경우(위의
  질문과 연관이 되는 것 같은데.. )
  QMA의 gas input단에서 이온을 QMA내로 들어오지 못하게 하는
  기능이 있는지 알고 싶습니다. ^^

수고하싶시오.. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54780
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8720
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12734
260 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8121
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9908
258 고온 플라즈마 관련 8090
257 안녕하세요 교수님. [1] 8992
256 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8575
255 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13042
254 MFP에 대해서.. [1] 7817
253 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
252 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7695
251 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10280
250 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8114
249 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24295
248 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15881
247 Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] 15790
246 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 21981
245 cross section 질문 [1] 19666
244 [Sputter Forward,Reflect Power] [1] 29236

Boards


XE Login