Langmuir Probe 대기압플라즈마 진단

2004.06.21 15:52

관리자 조회 수:21023 추천:254

질문 ::

대기압 플라즈마에서 lanmuir probe로 분석할 수 있는지 궁금합니다.
온도가 높아서 탐침이 탄다고 하던데 해결할 수 있는지 궁금합니다.
답변 부탁드리겠습니다

답변 ::

탐침을 이용한 대기압 진단은 한마디로 말해서 매우 어렵습니다
다음과 같은 문제가 해결되어야 합니다.
1. 충돌성이 매우 높은 플라즈마의 특성이 대기압 플라즈마의 특징중에 하나입니다.
따라서 충돌성이 매우 높은 플라즈마에서의 쉬스 형성에 관한 문제의
해결 (쉬스 경계에서의 이온의 속도 정의)
2. 쉬스 안에서 이온화가 일어나는 정도에 따라서 탐침에 들어오는
전류량이 바뀌게 됩니다. 이 값에 대한 보정
3. 탐침이 입사되는 전류에 의해서 고온으로 될때 탐침에서 방출되는
열전자의 효과 보정 (많은 경우 이 값이 이온 전류로 오인되어 무리한
해석을 하고 있는 경우가 많습니다).
등등..

위의 문제들의 일부는 해결이 되고 있기도 합니다만 아직까지 이 모든
문제를 해결했다고는 보이지 않습니다. 하지만 옳지 못한 자료라 하더라도 탐침에 의한 자료 취득을 시도할 필요는 있습니다. 사용을 주저하지는 않기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92182
267 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6363
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8975
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8916
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6491
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54871
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8738
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12751
260 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9953
258 고온 플라즈마 관련 8090
257 안녕하세요 교수님. [1] 9019
256 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8578
255 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13052
254 MFP에 대해서.. [1] 7820
253 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
252 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7702
251 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10295
250 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8118
249 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24318
248 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15885

Boards


XE Login