Collision Three body collision process

2004.07.02 11:22

권호철 조회 수:20646 추천:253

================================<질문>=======================================

glow discharge에 대해서 공부하다보니까
recombination부분에서
2-body collision은 불가능하다고 수식을 사용해서 증명이 되었는데 현실적으로 왜 불가능 한지 알고 싶고요
3-body collision의 자세한 설명이 듣고 싶어요.
아직 논문을 찾아보지는 못했지만 몇몇 개의 논문 제목들 중에 있긴 하던데 어떤 특정 원소에 대한 거라든지 어떤 특정 환경을 잡아놓고 쓴듯(아직 읽어보지 않아서 잘은 모르겠습니다)어렵기만 합니다.저는 갓 학부를 졸업한 학생입니다.
자세한 설명 부탁드립니다.

만일 설명이 곤란하다면 관련 서적이라든지 어떠한 레퍼런스에 대한 정보를 알려주신다면 상당히 감사하겠습니다.

================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다.
참고서적으로는 아마 지금 읽고 있는
Brian Chapman의 Glow Discharge Process (John Wiley& Sons, 1980)이 좋으며
혹은 M A Lieberman & A J Lichenberg의 Princeples of Plasma Discharge and Materials Processing (John Wiley& Sons 1994)
가 있습니다. 플라즈마를 공부한다고 하면 이 정도의 책은 꼭 보아야
합니다.

이책속에 질문한 사항에 대해서 자세히 나와 있습니다.
결합반응은 일반적인 충돌 현상과 차이가 있다면 두개의 입자가 서로
에너지를 갖고 충돌을 해서 하나의 결합체가 되는 반응이어서
충돌할때 입자가 갖고 오는 에너지가 반응 후에 보존되기 힘듦니다.
일반적으로는 갖고온 에너지를 상대 입자에게 전달해 주거나 받으면
보존되는데 문제가 없겠지만 결합이 된 상태이니 남거나 모자라는
에너지를 보충할 방법이 없습니다. 이같은 경우가 일어나기 위해서는
다른 제3 의 입자가 존재해서 남는 에너지에 대해서 보정을 해
주어야 합니다. 이는 반응기 벽이 되기 쉽고 혹은 압력이 높은 경우는
다른 입자가 대신하기도 하며 또한 photon으로 나오기도 합니다.
어쨋든 이 같은 조건이 형성되어야만 위의 반응이 일어나게 됩니다.
(책의 수식은 이런 내용을 의미하는 것입니다) 따라서 플라즈마 공간 내에서 이온과 전자가 쉽게 재결합을 하지는 않게
됩니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76668
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92158
267 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1319
266 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1310
265 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1306
264 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1302
263 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1288
262 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
261 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1276
260 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268
259 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1262
258 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1256
257 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1240
256 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
255 플라즈마 챔버 [2] 1234
254 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1233
253 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1223
252 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1217
251 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1217
250 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1187
249 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1179
248 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1173

Boards


XE Login