ATM Plasma 상압 플라즈마 관련 문의입니다.

2008.10.10 16:12

김형석 조회 수:21513 추천:282

안녕하세요..

상압 플라즈마 관련 업체에서 근무중인 김형석이라고 합니다.

다름이 아니라, 저희가 RF 플라즈마를 이용한 세정 장비를 개발 중에 있습니다.

모듈을 방전시 외부에 온도 라벨을 붙여 테스트 한결과, 약 7분 정도 지났을때, 접지 전극 온도가 약70도 정도 였습니다.

그러나, 그 순간 접지 전극이 휘는 현상이 발생하였습니다.

접지 전극을 새것으로 바꾸어도 마찬기지 현상이 발생합니다.

제 생각으로는 플라즈마가 불균일 하여, 생긴 현상이라 생각됩니다.

이에 대한 좋은 가르침 주시면 감사하겠습니다.

저희 장비는 리모트 타입으로써, 상부 전극은 Ag Paste에 절연체로는 세라믹을 사용중이며,
하부 전극은 알루미늄 아노다이징(60um)를 사용 중입니다.
전원은 RF를 사용 중입니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
267 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6363
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8976
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8917
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6491
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54875
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8738
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12752
260 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9954
258 고온 플라즈마 관련 8090
257 안녕하세요 교수님. [1] 9022
256 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8578
255 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13054
254 MFP에 대해서.. [1] 7821
253 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
252 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7702
251 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10295
250 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8118
249 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24320
248 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15885
쓰기
태그

Boards

XE Login