ESC 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상]

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7819

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82118
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21875
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58659
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70282
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96012
304 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전] [1] 7761
303 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [RRC 연구센터 문의] [1] 7818
» 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 7819
301 MFP에 대해서.. [Collisional cross section] [1] 7930
300 고온 플라즈마 관련 8118
299 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8181
298 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8189
297 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8238
296 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8597
295 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8652
294 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8686
293 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8760
292 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 8791
291 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 8897
290 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9025
289 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9035
288 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9091
287 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9152
286 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9216
285 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9306
쓰기
태그

Boards

XE Login