Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?
2004.06.21 15:43
질문 ::
플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
답변 ::
플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68690 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92259 |
268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11400 |
267 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11446 |
266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12354 |
265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12479 |
264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12755 |
263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13201 |
260 | 플라즈마의 상태 | 14076 |
259 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14141 |
258 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
257 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14456 |
256 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
255 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
254 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14733 |
253 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14777 |
252 | 우주 플라즈마 | 14785 |
251 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
250 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15157 |
249 | 박막 형성 | 15299 |