ATM Plasma Lissajous figure에 대하여..

2004.07.02 00:31

이석근 조회 수:20612 추천:281

질문 ::

안녕하셨습니까? 저번 제주도 학회때 인사드렸던, 연세대 정보표시재료 연구실의 이응석입니다. 다름이아니라,, 논문을 읽다보니 Lissajous figure를 이용하여 대기압 플라즈마의 특성을 분석하곤 하는데,, 여러 져널을 뒤져봐도 Lissajous figure에 대하여 정확히 기술된 논문을 구하지 못하여 이렇게 부탁드립니다. 제가 알고싶은것은 원리, 실험적인 측정방법, plot하는 법등을 알고 싶은데,, 혹시 이러한 의문점에 대하여 참고할 만한 서적이나 논문이 있으면 좀 부탁드리겠습니다.


답변 ::

저희 실험실을 찾아주셔서 감사합니다.
먼저 Lissajous figure는 보통 대기압 플라즈마에서 Q-V Lissajous 곡선을 통하여 그 특성을 알수 있는데 Q-V Lissajous 란 인가된 전압에 따라 하전되는 전하량의 변화를 나타내는 곡선입니다.  Lissajous  곡선을 이용하여 대기압플라즈마의 특성을 알 수 있는데 먼저 Lissajous  곡선을 평행사변형이라 가정하고 소모에너지, 소모 전력를 구할수 있습니다. 또한 대기압플라즈마 중에서도 DBD(Dielectric barrier Discharge)는 arc방전을 억제하고 스트리머를 발생하기 위해 유전체를 전극사이에 삽입하게 되고, 따라서 반응기에는 공기의 정전용량과 유전체의 정전용량이 존재하게 됩니다. 이때 Q-V Lissajous 곡선을 사용하면 인가전압의 변화에 따라 공간내에 절연 파괴가 일어나기 전 전하량의 변화를 통하여 반응기 전체 정전용량을 구할수 있습니다. 그리고 절연파괴가 일어난 후  전하량의 변화를 통하여  절연체의 정전용량을 얻을 수 있습니다.  
Q-V Lissajous 곡선은 전류를 적분하여 전하량 Q를 통하여 얻을수 있습니다.

더 자새한 사항은
- Manheimer, Sugiyama, Stix " Plasma Science and The Enviroment ", AIP PRESS, 1997
- T. C. Manley " The Characteristics of The Ozonator Discharge", Trans. Elctrochem.Soc. 1943
- 박봉경, 김윤환, 장봉철, 조정현, 김곤호 "반응기 정전용량 변화에 따른 대기압 DBD반응기의 동작특성 연구", Journal of the Korean Vacuum Society, 440-448, 10(4), 2001
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
240 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17668
239 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21183
238 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24735
237 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22683
236 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19830
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20308
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31636
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24261
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23317
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22931
230 대기압 플라즈마 40676
229 반도체 관련 질문입니다. 28577
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47764
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20194
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16023
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19408
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29947

Boards


XE Login