Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
2021.08.12 16:29
안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.
플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.
플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.
이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76666 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20149 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57149 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92158 |
| 247 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 1164 |
| 246 | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 1161 |
| 245 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 1159 |
| 244 | Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] | 1156 |
| 243 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1154 |
| 242 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1]  | 1153 |
| 241 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1153 |
| 240 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1152 |
| 239 | 공정플라즈마 [1] | 1143 |
| 238 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1142 |
| 237 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1139 |
| 236 | 자기 거울에 관하여 | 1135 |
| 235 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1129 |
| 234 | wafer bias [1] | 1126 |
| 233 |
전자 온도 구하기
[1] | 1122 |
| 232 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1117 |
| 231 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1113 |
| 230 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1110 |
| 229 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1110 |
| 228 | 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] | 1106 |