Collision 확산펌프

2004.06.28 01:49

이석환 조회 수:20504 추천:256

질문

저는 박막을 공부하는 학생입니다.
제가 사용하고 있는 장치는 DC 마그네트론 스펏터링 장치입니다.
다름이 아니옵고 최근 확산펌프의 고장으로 인해 확산펌프를 수리해서 다시 부착을 했습니다. 그뒤로 압력이 너무 심하게 변동을 하고있어서 이렇게 질문을 드립니다.
그냥 가스를 챔버내로 주입하기전에는 정상적으로 진공이 되지만 가스를 유입함과 동시에 챔버내의 압력이 너무 크게 변동을 하고 있습니다.
여러곳에 문의를 해도 특별한 답을 찾기 어렵고 해서...
이렇게 실례인줄을 알면서 문의드립니다.

답변1

DP는 하부에 펌프오일 확산을 위해 오일을 가열시키기 위한 방열판이 있고, 확산된 오일기체가 제트스트림을 형성하고 나오면서 접촉하는 입자와 함께 날아가 펌프벽에서 응축되어 하부로 입자들을 옮기고 이들은 Backing pump에 의해서 방출되는 원리입니다. 펌프 벽면은 냉각수가 흘러  벽의 온도를 낮추고 있습니다. 따라서 현재 검토해야할 사항은 펌프 오일의 양, 냉각수의 정상작동여부, 아울러 하부 절연판의 온도가 중요 변수입니다. 고장 수리 항목을 검토해 보고 기술한 항목과의 관계를 살펴보세요.

답변2

수리후만의 문제라면 김곤호 교수님의 말씀대로 점검을 해보시고, 혹시 수리전에도 공정시에 압력의 변동이 있었다면 다음을 확인해 보시기 바랍니다.

DP는 오일의 제트 분사에 의해서 펌핑이 되는데 입구의 압력이 올라가면 분사된 오일이 벽에 닿기전에 산란이 되어서 펌핑 효과가 떨어집니다. 그러니 일정량의 개스를 주입하고 있었다면 압력이 올라가겠지요. 또 그 사실을 확인하고 가스 주입량을 줄이면 압력이 낮아지는데 그러면 DP의 펌핑 속도가 회복되어 기대치보다 더 압력이 낮아지는 현상이 나타납니다. 통상 DP의 입구 압력은 10E-4 Torr를 유지하여야 하므로 중간의 thorttle valve를 조절하여 DP의 펌핑 속도가 변하지 않는 범위내에서만 가스를 주입하시면 될 것 입니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
243 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1146
242 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1145
241 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1142
240 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1141
239 공정플라즈마 [1] 1136
238 Group Delay 문의드립니다. [1] 1134
237 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1133
236 자기 거울에 관하여 1130
235 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1122
234 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1122
233 wafer bias [1] 1119
232 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1118
231 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1118
230 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1112
229 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1107
228 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1101
227 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1099
226 전자 온도 구하기 [1] file 1098
225 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1088
224 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1078

Boards


XE Login