Others Peak RF Voltage의 의미
2004.06.28 01:58
질문
안녕하세요...
제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.
감사합니다,.
답변
CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76541 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20077 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91696 |
240 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17667 |
239 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21183 |
238 | ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] | 24735 |
237 | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22683 |
236 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19830 |
235 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20308 |
234 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31636 |
233 | [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] | 24261 |
232 | HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 | 23317 |
231 | 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. | 22931 |
230 | 대기압 플라즈마 | 40676 |
229 | 반도체 관련 질문입니다. | 28577 |
228 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47764 |
227 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20194 |
226 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16023 |
225 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19408 |
224 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 29947 |