Others Peak RF Voltage의 의미
2004.06.28 01:58
질문
안녕하세요...
제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.
감사합니다,.
답변
CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.
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