Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다

2018.12.30 00:05

시쿠임 조회 수:968

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20179
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
249 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1174
248 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1172
247 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1167
246 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1162
245 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1157
244 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1156
243 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1156
242 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1156
241 공정플라즈마 [1] 1145
240 Group Delay 문의드립니다. [1] 1144
239 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
238 자기 거울에 관하여 1138
237 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
236 wafer bias [1] 1129
235 전자 온도 구하기 [1] file 1129
234 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1120
233 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1117
232 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1116
231 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1112
230 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1112
쓰기
태그

Boards

XE Login