Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
2020.06.08 18:29
안녕하십니까 교수님
공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.
제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.
chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [181] | 74898 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18754 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56234 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66727 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88159 |
| 179 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 942 |
| 178 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 935 |
| 177 | 공정플라즈마 [1] | 934 |
| 176 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 931 |
| 175 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 930 |
| 174 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 929 |
| 173 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 926 |
| 172 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 922 |
| 171 | 플라즈마 챔버 [2] | 920 |
| 170 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 903 |
| » | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 900 |
| 168 | 고진공 만드는방법. [1] | 898 |
| 167 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 892 |
| 166 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 892 |
| 165 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 890 |
| 164 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 888 |
| 163 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 884 |
| 162 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 881 |
| 161 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 879 |
| 160 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 877 |
성균관 대학교 김태성교수님 연구실로 문의하시면 좋은 답변을 구하실 수 있을 것 같습니다. chucking/dechucking에서 생성될 수 있는 파티클 제어까지 고려해야 할 것 같습니다.