Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다

2018.12.30 00:14

시쿠임 조회 수:734

안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72998
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17589
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55512
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65687
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86017
145 Plasma Generator 관련해서요. [1] 806
144 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 805
143 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 805
142 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 802
141 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 792
140 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 791
139 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 782
138 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 772
137 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 757
136 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 756
135 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 753
134 문의 드립니다. [1] 746
133 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 745
132 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 744
131 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 742
130 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 739
» RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 734
128 전자 온도 구하기 [1] file 729
127 플라즈마 충격파 질문 [1] 720
126 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 715
쓰기
태그

Boards

XE Login