-> 실명으로 작성했다고 생각했는데 닉네임으로 되어있어서 죄송합니다.ㅜㅜ 닉네임 실명으로 수정하였습니다.

 

안녕하세요 

 

현재 원기둥 모양의 얇은 텅스텐을 강염기 KOH로 전기에칭을 진행하고 있습니다.

 

Etching이 완료된 후 SEM으로 이미지를 보면 어떤물질인지 정확히 알 수 없는 수십나노 size의 Contamination들이 표면에

 

붙어있습니다. 

 

현재 플라즈마 장비로 이런 Contamination을 제거하기 위한 방법들을 찾아보고 있는 와중에 일전에도 도움주셔서 이렇게 글을

 

남겼습니다.

 

저희가 사용하는 플라즈마 장비는 진공플라즈마가 아닌 대기압플라즈마를 사용하며, 워낙 얇은 텅스텐을 사용하다보니

 

진공플라즈마에서 피뢰침처럼 Ark 방전이 발생하여 일부로 시료의 damage가 덜한 대기압플라즈마로 Remote 방식을 쓰고 있습니다.

 

현재 대기압플라즈마로 Native oxide제거(연구중), 정전기 제거(주사용)로 사용하고 있는데 추가적으로 Contamination 제거도 진행

 

하려고 합니다.

 

이러한 상황에서 좋은 접근방법이 있을지 여쭤보고 싶습니다.

 

바쁘신 와중에 글 읽어주셔서 감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77771
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20734
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57653
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69150
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93421
257 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1172
256 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1170
255 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1168
254 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1160
253 자기 거울에 관하여 1157
252 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1154
251 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1137
250 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1125
249 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1125
248 Plasma Arching [1] 1123
247 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1123
246 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1111
245 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1093
244 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1092
243 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1080
242 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1075
241 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1074
240 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1069
239 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1069
238 anode sheath 질문드립니다. [1] 1063

Boards


XE Login