Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.

2022.04.19 11:40

맨시티챔스우승 조회 수:929

안녕하세요

측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.

 

ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.

Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.

 

안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...

이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?

 

혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.

바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.

 

, , 이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75769
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19454
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56673
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68032
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90327
198 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 978
197 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 978
196 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 976
195 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 975
194 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 972
193 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 963
192 진학으로 고민이 있습니다. [2] 962
191 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 959
190 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 955
189 고진공 만드는방법. [1] 949
188 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 946
187 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 942
186 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 939
185 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 933
» RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 929
183 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 919
182 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 917
181 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 917
180 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 916
179 Plasma Arching [1] 915
쓰기
태그

Boards

XE Login