Ion/Electron Temperature 고온플라즈마와 저온플라즈마

2004.06.21 15:10

관리자 조회 수:17416 추천:284

[RE] 고온플라즈마와 저온플라즈마

고온 플랒즈마를 생성하기 위해선 어떤 특별한 장치가 필요한건지? 고온 플라즈마는 어떻게 생성시키는지?
즉, 저온 플라즈마를 발생시키기 위해선 어느정도의 수kV전압을 인가하거나 RF 주파수를 인가함으로서 형성되어진다고 했는데...
고온 플라즈마의 경우 저온 플라즈마를 생성할때와 똑같은 챔버를 사용하여 단지 인가전압만 상승시켜 자기장 세기만 증가시키면
되나요? 제가 알기엔 전압을 계속 인가하게 되면 spark로 이행된다고 알고 있는데...
spark를 최종으로 이용할 경우 spark가 고온 플라즈마가 아니잖아요.. spark는 단지 고온 플라즈마나 저온 플라즈마에서 자기장
세기를 변화시켰을때의 최종 단계상태일 뿐이지...  챔버의 기하학적 형태에 따라 고온 플라즈마가 생성되는 건가요? 암튼.. 고온
플라즈마를 형성시키기 위해 특별한 장치가 필요한 건지?? 어느조건에서 어느정도 kV의 전압이 필요한건가요?? 아시면 자세한
설명좀 부탁드릴께요..


플라즈마 발생을 위하여 외부 에너지가 필요합니다. 외부에서 인가된 에너지는 플라즈마 발생에 이용되고 플라즈마를 가열하는 등에
이용될 것입니다. 그때 플라즈마의 대표되는 에너지량은 온도로 표현되겠지요. 이들 에너지는 궁극적으로 플라즈마를 구속하는 용기로
흘러나가게 될 것입니다. 따라서 이 경우에 플라즈마 입자의 온도를 올리기 위해서는 어떤 일이 필요하겠습니까? 우선 입자들이 갖고
나가는 에너지의 양을 줄여야 할 것입니다. 이를 위해 입자를 벽으로 부터 멀리 떼어 놓는 장치가 필요하게 됩니다. 다행스럽게도
플라즈마 입자들은 하전되어 있음으로 자기장에 구속이 가능하게 되고 벽과 만남을 제한할 수 있을 것 입니다. 혹은 플라즈마 발생
위치를 가급적 벽으로 부터 멀리 떨어지게 함이 좋을 것입니다. 이 또한 일반적인 플라즈마 발생장치에서 얻기 힘든 조건일 것입니다.
두번째로 플라즈마와 다른 플라즈마 혹은 개스 입자간의 충돌이 빈번하면 자신의 에너지를 보존하는데 더욱 어려울 것입니다. 따라서
충돌률을 줄여야 할 것입니다. 따라서 spark에서는 충돌에 의해 많은 에너지손실이 있어 고온 플라즈마를 얻을 수 없게 됩니다. 고온
플라즈마를 얻기 위해서는 이외에 플라즈마 가열을 위해 외부에서 안테나를 통한 EM wave를 인가하거나 고속 입자를 주입하여 충돌에
의해 온도를 높이고 있습니다. 따라서 질문하신 특별한 용기가 필요할 것입니다. 다만 그 특별함에는 많은 물리적인 현상이 고려된
설계이어야 합니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76681
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57152
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
227 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1099
226 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1086
225 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1073
224 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1068
223 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1062
222 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1055
221 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1055
220 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1052
219 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1047
218 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1046
217 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
216 Plasma Arching [1] 1039
215 플라즈마 코팅 [1] 1036
214 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1036
213 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1029
212 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1028
211 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1020
210 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1012
209 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
208 고진공 만드는방법. [1] 1006

Boards


XE Login