Deposition [CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
2019.01.23 13:10
안녕하세요.
CVD공정쪽에서 일하고 있는 엔지니어 반형진입니다.
a-Si 증착 시 Vdc값이 증착된 막 내의 수소량에 어떻게
영향을 미치는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.
댓글 4
-
김곤호
2019.01.24 12:30
-
시비디
2019.01.24 12:55
감사합니다 큰 도움이 됐습니다.
-
시비디
2019.01.24 13:05
한 가지만 더 여쭙겠습니다.
시편의 온도가 올라가서 수소가 깊게 침투할 수 있다는 부분에서
온도가 상승하는 것과 어떤 상관있는지 조금 더 설명해주시면 안 될까요 ^^;;
그리고 혹시 수소가 깊게 침투한다는 걸
Vdc 값이 높아질수록 증착막 내의 수소량이 많아진다고 이해해도 될까요??
-
강성국
2019.01.24 13:50
안녕하세요. 삼성디스플레이 연구소 소속 강성국이라고 합니다.
본 답변 내용 중 조금 이해가 되지않는 부분이 있어, 댓글로 여쭙습니다.
" ...Vdc는 타킷 표면의 전위를 의미하며, 이는 쉬스 전위=플라즈마 전위-표면 전위, 이니 대부분 공정되어 있는 플라즈마전위를 기준으로 Vdc 가 커지면 (음의 값입니다) 쉬스 전위가 커지고..."
이 부분 중 Vdc가 커진다는 의미는 -값으로 더 내려간다는 의미인가요, 아니면 말 그대로 +방향으로 더 커진다는 것 인가요?
이전 답변 내용이 많은 도움이 되었습니다.
번거로우시겠지만 상기 내용에도 도움을 주시면, 매우 감사하겠습니다^^
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
142 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 | 17707 |
141 | 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] | 17333 |
140 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17190 |
139 | 플라즈마 처리 | 16925 |
138 | ICP 식각에 대하여... | 16904 |
137 | sputter | 16840 |
136 | nodule의 형성원인 | 16743 |
135 | 몇가지 질문있습니다 | 16577 |
134 | Sputter | 15866 |
133 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15790 |
132 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15638 |
131 | 박막 형성 | 15296 |
130 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
129 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14730 |
128 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12432 |
127 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11293 |
126 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10280 |
125 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9497 |
124 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9259 |
123 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8559 |
아마도 수소의 침투는 2가지 경로를 가질 것 같습니다. 한가지는 확산에 의한 것이고, 다른 하나는 쉬스에서 가속된 수소 이온의 침투일 것 입니다. 전자는 중성의 수소의 거동이고 후자는 수소 이온이며, Vdc는 타킷 표면의 전위를 의미하며, 이는 쉬스 전위=플라즈마 전위-표면 전위, 이니 대부분 공정되어 있는 플라즈마전위를 기준으로 Vdc 가 커지면 (음의 값입니다) 쉬스 전위가 커지고, 이는 이온이 보다 큰 에너지를 갖고 침투하게 되거나. 표면에서 대기중인 수소 입자들에게 에너지를 더 전달할 수 있습니다. 물론 타킷(시편)의 온도도 올라가서, 보다 많은 수소가 깊게 침투할 수 있겠습니다. 게시판에서 쉬스에 대한 설명을 참고해 보시면 이해에 도움이 될 것 같습니다.