Plasma in general 데포 중 RF VDC DROP 현상

2021.07.29 15:44

공효준 조회 수:1220

안녕하세요 반도체회사 장비 엔지니어입니다. 

박막 과정 데포 중 RF VDC가 드랍 되는 현상이 있습니다. GAS양, CH 내 PRESSURE, 등등 변하는 것이 없는데 왜 갑자기 DROP 되는 걸까요?

영향을 줄만한 인자가 어떤 것이 있을까요? 장비를 잘 쓰다가 갑자기 DROP이 일어나고 그 이후는 다시 올라 오지 않습니다 ㅠ

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