안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.

 

제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.

 

저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다. 

 

저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요. 

 

이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.

 

그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.

 

그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.

 

그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.

 

교수님은 어떻게 생각하시는지요?

 

혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.

 

항상 감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64223
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84302
652 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 787
651 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 466
650 doping type에 따른 ER 차이 [1] 326
649 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 449
648 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 3272
647 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 555
646 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 700
645 plasma 형성 관계 [1] 744
644 RF matcher와 particle 관계 [2] 1140
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2716
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4055
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 515
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 646
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 736
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3512
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 825
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 625
635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 670
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 651
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 432

Boards


XE Login