Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.

2021.02.16 15:54

blackstar 조회 수:27766

안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75772
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19457
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56674
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68038
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90329
718 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 296
717 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 310
716 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 315
715 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 329
714 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 335
713 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 349
712 plasma modeling 관련 질문 [1] 355
711 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 357
710 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 363
709 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 365
708 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 374
707 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 375
706 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 380
705 plasma striation 관련 문의 [1] file 389
704 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 392
703 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 395
702 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 400
701 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 404
700 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 405
699 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 407
쓰기
태그

Boards

XE Login