번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92182
118 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 860
117 Plasma Generator 관련해서요. [1] 907
116 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 916
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 966
114 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 970
113 anode sheath 질문드립니다. [1] 979
112 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 991
111 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
110 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1052
109 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1054
108 공정플라즈마 [1] 1143
107 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1153
106 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1159
105 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1162
104 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1164
103 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1187
102 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1218
101 플라즈마 챔버 [2] 1234
100 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1256
99 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268
쓰기
태그

Boards

XE Login