안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92262
748 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 290
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 306
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 310
745 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 314
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 314
743 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 318
742 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
741 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 329
740 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
739 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 343
738 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 347
737 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 350
736 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 354
735 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 355
734 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 356
733 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 364
732 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
731 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 373
730 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 386
729 plasma modeling 관련 질문 [1] 387

Boards


XE Login