번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19419
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56648
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67966
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90148
717 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 296
716 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 299
715 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 301
714 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 329
713 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 339
712 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 341
711 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 350
710 plasma modeling 관련 질문 [1] 352
709 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 361
708 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 363
707 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 372
706 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 373
705 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 383
704 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 385
703 plasma striation 관련 문의 [1] file 388
702 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 390
701 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 393
700 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 394
699 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 404
698 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 404

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