안녕하세요

Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3647
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15336
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50576
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62991
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82102
629 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 348
628 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 348
627 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 349
626 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 353
625 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 357
624 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 360
623 핵융합 질문 [1] 365
622 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 366
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 367
620 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 371
619 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 372
618 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 372
617 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 373
616 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 381
615 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 383
614 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 387
613 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 395
» Interlock 화면.mag overtemp의 의미 396
611 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 397
610 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 401

Boards


XE Login