Matcher Interlock 화면.mag overtemp의 의미

2020.12.16 11:20

하모예 조회 수:584

안녕하세요

Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68679
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92195
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 304
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 309
745 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 313
744 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 314
743 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 317
742 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
741 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 324
740 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 340
739 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
738 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 346
737 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 348
736 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 348
735 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 353
734 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 354
733 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 363
732 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 369
731 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
730 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 384
729 plasma modeling 관련 질문 [1] 386
728 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 387
쓰기
태그

Boards

XE Login