Deposition O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
2022.11.23 17:08
안녕하세요. TBIDMW를 사용한 WC_x 박막에 관한 논문을 읽던 중 궁금한 점이 생겼습니다.
TBIDMW 소재 관련 공정 진행 후 남은 부산물에 관해 O2 Plasma를 사용한 PPS 시스템 사용 시
아민 계열을 해리시키고 남은 메탈 소재에 대해서 O2 plasma로 부산물을 안전하게 처리가 되는지 궁급합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73034 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17630 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55517 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65701 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86031 |
| 666 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 365 |
| 665 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 373 |
| 664 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 375 |
| 663 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 378 |
| 662 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 379 |
| 661 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 383 |
| 660 | 핵융합 질문 [1] | 398 |
| 659 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 398 |
| 658 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 405 |
| 657 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 405 |
| 656 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 406 |
| 655 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 412 |
| 654 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 415 |
| 653 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1]  | 416 |
| 652 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 419 |
| 651 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 431 |
| 650 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] | 432 |
| 649 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 435 |
| 648 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 442 |
| 647 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 445 |