Others 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마

2004.06.19 16:44

관리자 조회 수:14732 추천:262

플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마에 의해 발생하는 잡음 발생이 심각하다고 하셨습니다. 이를 제거하기 위해 전원부를 따로 쓰고 있고 차폐막도 설치했음에도 심호잡음이 계속 측정되고 있다고 하셨습니다.
일단 아크 플라즈마에서는 순간적인 아크 전류의 크기가 커서 발생 잡음은 매우 크고 이의 제거는 매우 어렵습니다. 일단 발생하는 잡음 신호의 주파수와 크기를 측정하실 필요가 있습니다. 이를 참고로 가장 염두에 두셔야 할 것은 차폐막과 전원부의 접지상태를 확인하시기 바랍니다. 잡음은 직류가 아진 고주파 교류신호임을 유의하여 접지 상태를 점검하고 차폐막의 형태나 설치 위치도 중요하니 설치 위치등을 다시 고려하시기 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76685
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92208
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21109
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23756
205 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19191
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21329
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24641
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26178
201 몇가지 질문있습니다 16578
200 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21894
199 Plasma Gas의 차이점 [1] 17969
198 matching box에 관한 질문 [1] 29662
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18003
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19356
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19537
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22538
193 플라즈마 측정기 [1] 21331
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22236
191 Arcing [1] 28640
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24772
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18737
188 궁금해서요 16315

Boards


XE Login