ATM Plasma 플라즈마를 이용한 오존 발생장치

2004.06.19 17:13

관리자 조회 수:28924 추천:270

질문에 혼돈이 있는 이유는 플라즈마를 이용한 오존 발생기가 있기 때문입니다. 다시 이야기 하면 오존을 만들기에 적합한 플라즈마 발생 방치들이 있다는 말입니다. 이와 다른 방법으로 오존을 만드는 예에대해서는 저는 잘 아지 못하고 다만 플라즈마를 이용한 오존 발생장치를 예로 하겠습니다. 최근에는 DBD 방법으로 산소 플라즈마를 만들다 보면 많은 오존에 형성되게 됩니다. 또한 Corona 방전, 대부분 고전압 펄스 방전에서 형성되는 플라즈마를 의미하는데 이를 대기압 상태에서 형성시키다 보면 공기 중 산소에 의해서 오존이 다량 셩성되기도 합니다. 앞에서 말한 Corona 방전기, 대기압 방전, DBD등은 이전 설명을 참고하시고 이들 방전기를 플라즈마 발생기의 한 종류라 생각할 수 있으며 일반적인 플라즈마 발생기에 비해서 높은 운전 압력, 즉 대기압 등의 조건에서 플라즈마를 발생하는 장치, 큰 의미의 플라즈마 발생기라 할 수 있습니다.

참고로 플라즈마라는 표현은 플라즈마 상태를 의미하는 것으로 물질의 상태 중 하나입니다. 따라서 대부분의 개스는 플라즈마 상태를 만드는 대상이 될 수 있으며 산소를 포함하지 않은 개스를 플라즈마 상태로 만들 경우 물론 오존의 발생 가능성은 거의 없습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20176
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
209 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
208 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1008
207 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 999
206 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 996
205 anode sheath 질문드립니다. [1] 983
204 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 980
203 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 973
202 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 972
201 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
200 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
199 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 958
198 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
197 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 954
196 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 947
195 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
194 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
193 Plasma Generator 관련해서요. [1] 910
192 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 889
191 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 881
190 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 878

Boards


XE Login