ATM Plasma DBD plasma

2004.06.21 15:13

관리자 조회 수:18088 추천:283

DBD plasma

플라즈마 반응시 빛이 보이게 됩니다. 우선 빛의 정체를 보면, 빛을 방출하게 되는 경우는 원자가 여기되었다가 기저 상태로
낮아 지면서 나오는 에너지 차이가 우리가 인지할 수 있는 파장대의 빛으로 나오게 되는 것입니다. 이 에너지는  이온화 반응에너지
보다 낮아 이온화 반응과 함께 진행됨으로 빛이 보이면 이온화가 진댕되고 있겠다고 생각할 수 있는 이유입니다. 지금 실험하고 있는
상황은 아마도 puls corona 실험을 하고 있는것 같습니다. 혹은 DBD실험일 것입니다. 두 경우 모두 가시적으로 빛이 관찰되지 않는
다면 puls형태의 플라즈마 혹은 DBD플라즈마가 제대로 형성되지 않았다고 할 수 있습니다. 또한 corona방전이나, DBD의 경우나 외부
ground전극의 일부가 유리와 같은 유전체로 만들어져 있다고 해서 플라즈마를 만들지 못할 이유는 없습니다. 오히려 반응기에 제대로
power가 전달되고 있는 가를 점검하여야 할 것입니다.
혹은 빛이 약해서 관찰이 되지 않을 수도 있습니다. 주변을 어둡게 하고 실험을 해보기 바랍니다. 이런 경우에는 power electrode
에서 흐르는 전류를 측정해 보는 방법이 가장 확실한 방법입니다. 물론 displacement current를 제거를 하고 자료를 관찰해야 할
것입니다. 좋은 결과가 있기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20190
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
209 고진공 만드는방법. [1] 1008
208 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
207 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 999
206 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 996
205 anode sheath 질문드립니다. [1] 983
204 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 980
203 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 973
202 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 972
201 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
200 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
199 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 960
198 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
197 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 954
196 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 949
195 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
194 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
193 Plasma Generator 관련해서요. [1] 910
192 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 889
191 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 883
190 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 878

Boards


XE Login