Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?
2004.06.21 15:43
질문 ::
플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
답변 ::
플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92277 |
209 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18543 |
208 | CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. | 23261 |
207 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21110 |
206 | N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] | 23758 |
205 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
204 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21330 |
203 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24644 |
202 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 26185 |
201 | 몇가지 질문있습니다 | 16578 |
200 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21895 |
199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17973 |
198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29665 |
197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18004 |
196 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19539 |
194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22540 |
193 | 플라즈마 측정기 [1] | 21332 |
192 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22239 |
191 | Arcing [1] | 28644 |
190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24772 |