안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1664
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 4708
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75925
63 활성이온 측정 방법 [1] 357
62 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 356
61 전자 온도 구하기 [1] file 350
60 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 345
59 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 343
58 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 340
57 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 338
56 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 337
55 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 336
54 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 334
53 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 333
52 핵융합 질문 [1] 333
51 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 329
50 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 324
49 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 322
48 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 316
47 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 314
46 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 313
45 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 311
44 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 307

Boards


XE Login