안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4929
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16287
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51251
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83576
99 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 528
98 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 525
97 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 522
96 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 522
95 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 522
94 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 510
93 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 508
92 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 498
91 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 495
90 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 495
89 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
88 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 488
87 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 484
86 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
85 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 480
84 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 472
83 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 464
82 anode sheath 질문드립니다. [1] 460
81 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 459
80 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 457

Boards


XE Login