Others 반도체 관련 플라즈마 실험
2022.08.08 11:39
고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75769 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19454 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56673 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68032 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90327 |
| 178 | Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] | 915 |
| 177 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 913 |
| 176 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 904 |
| 175 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 895 |
| 174 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 894 |
| 173 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 886 |
| » | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 879 |
| 171 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 874 |
| 170 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 871 |
| 169 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 862 |
| 168 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 859 |
| 167 | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 850 |
| 166 | CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] | 846 |
| 165 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1]  | 840 |
| 164 | 문의 드립니다. [1] | 830 |
| 163 | O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] | 821 |
| 162 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 816 |
| 161 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 815 |
| 160 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 805 |
| 159 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 799 |
과학관에서 아이디어를 얻는 것이 좋을 것 같습니다. 특히 플라즈마 관련 실험은 안전 문제를 반드시 고려해야 합니다. 실험 계획서에 이 부분에 대한 고려를 포함하는 것이 좋겠네요.