Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:915

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75769
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19454
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56673
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68031
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90327
178 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 915
177 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 913
176 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 904
175 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 895
174 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 892
173 Plasma Generator 관련해서요. [1] 886
172 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 879
171 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 874
170 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 871
169 anode sheath 질문드립니다. [1] 862
168 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 858
167 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 850
166 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 846
165 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 839
164 문의 드립니다. [1] 830
163 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 821
162 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 816
161 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 815
160 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 803
159 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 799

Boards


XE Login