Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20180 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92275 |
189 | 증착에 대하여... | 18101 |
188 | 진로상담 | 18146 |
187 | rotational vibration excitation | 18185 |
186 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18193 |
185 | ICP에 대하여 | 18196 |
184 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18215 |
183 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18240 |
182 | sputtering | 18291 |
181 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
180 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |
179 | Faraday shielding & Screening effect | 18351 |
178 | 물리적인 sputterting | 18364 |
177 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
176 | RF compensate probe | 18452 |
175 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
174 | 최적의 펌프는? | 18539 |
173 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18543 |
172 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
171 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
170 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18652 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .