Others QMA에서 electron beam의 generation 과정

2004.06.19 16:04

관리자 조회 수:17874 추천:227

1. QMA에서 electron beam을 generation하는 과정을 알고 싶습니다.
2. Ion source근방에서 Lens를 상용하는 것으로 알고 있는데..
  이온 빔을 평행한 빔으로 만드는 과정인지를 알고 싶습니다.
3. Energy Filter의 종류와 원리를 알고 싶습니다.

너무 질문이 추상적인 것 같아서 ... ^^
죄송합니다. 아직 모르는 것이 많아서.......

ps. 혹시라도 QMA를 통하여 얻어지는 signal에 대한 NIST표준을
      찾을 수 있는 site및 자료를 갖고 계신다면... 좀 얻을 수 있었으면
      좋겠습니다.  어떻게 좀.... 알수있는 방법이 없을까요...
      이에 대한 참고 문헌을 소개해 주셔도 ....
      정말 감사드리겠습니다. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [298] 77490
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20580
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57512
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69027
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93144
214 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 934
213 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 926
212 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 926
211 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 918
210 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 918
209 Plasma Generator 관련해서요. [1] 917
208 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 909
207 Self bias 내용 질문입니다. [1] 907
206 문의 드립니다. [1] 889
205 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 883
204 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 882
203 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 881
202 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 873
201 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 872
200 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 866
199 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 865
198 RF 파워서플라이 매칭 문제 859
197 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 851
196 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 851
195 라디컬의 재결합 방지 [1] 845

Boards


XE Login