Plasma Source RF 변화에 영향이 있는건가요?

2018.09.06 07:36

프레스티지오너 조회 수:17541

반도체 공정과 관련하여 DIFF 공정 진행 간, TEMP와 RF 간에 상관 관계가 궁금하여 문의 드립니다.

NH3의 분해와 관련하여 상온 기준 RF POWER를 인가한다고 했을때 분해 가능한 수준이 어느 정도인지 궁금합니다.(W 기준)

그리고 추가로 문의 드리고 싶은 사항은 TEMP와 RF 간에 상관 관계입니다. TEMP가 변화하는 정도에 따른 RF의 변화 정도가 어떻게 되는지 궁금해서 문의 드립니다.

정답이 힘들다면 참고 및 이해할 수 있는 답변을 좀 부탁 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79217
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21256
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69611
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94396
223 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1008
222 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1007
221 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1004
220 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 997
219 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 995
218 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 992
217 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 988
216 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 986
215 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 978
214 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 961
213 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 951
212 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정] [1] 939
211 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 937
210 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 934
209 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 930
208 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 930
207 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 927
206 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 922
205 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 910
204 RF 파워서플라이 매칭 문제 909
쓰기
태그

Boards

XE Login