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222 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1002
221 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1002
220 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 994
219 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 992
218 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 991
217 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 986
216 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 986
215 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 981
214 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 974
213 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 957
212 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 947
211 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 934
210 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정] [1] 932
209 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 931
208 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 925
207 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 924
206 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 921
205 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 915
204 RF 파워서플라이 매칭 문제 904
203 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 904
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