Others 활성이온 측정 방법
2017.11.07 15:04
안녕하세요
배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.
플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.
오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요
오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더 강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.
그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.
활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?
그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요
플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?
현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.
교수님의 고견 부탁 드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76714 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20170 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68695 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92272 |
188 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 869 |
187 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 868 |
186 | 문의 드립니다. [1] | 867 |
185 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 862 |
184 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 855 |
183 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 853 |
182 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 845 |
181 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 843 |
180 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 842 |
179 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
178 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 832 |
177 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 823 |
176 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 814 |
175 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 814 |
174 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 812 |
173 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 806 |
172 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 804 |
171 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 800 |
170 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 800 |
169 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 794 |
관련 연구는 기계 연구소의 송영훈박사 팀에서 아주 오랫동안, 매우 열심히 연구를 하고 있는 분야입니다. 따라서 기계 연구소 송영훈 박사 팀을 소개합니다. https://www.kimm.re.kr/eco04 (한국기계연구원/환경시스템연구본부/플라즈마연구실)에 방문을 추천합니다.