안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
183 문의 드립니다. [1] 858
182 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 856
181 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 850
180 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 847
179 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
178 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
177 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 835
176 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 835
175 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
174 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 830
173 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 825
172 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 818
171 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 808
170 RF 파워서플라이 매칭 문제 798
169 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 792
168 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 791
167 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 790
166 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 786
165 플라즈마 충격파 질문 [1] 784
164 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 782

Boards


XE Login