안녕하세요 저는 한양대 비선형광학 연구실에 석사과정중인 박진우 입니다.



현재 Hollow Cathode discharge를 이용한 D2 플라즈마를 뛰어서 분광학에 사용하는 연구를 진행중인데요, 



플라즈마를 띄우는 과정에서 이상 현상들이 일어나 이에 대해 고민하던중 혼자힘으론 해결이 어려워 이렇게 글을 남김니다.



현재 이상현상은 두가지인데요.



첫째는 플라즈마가 안정화가 안되고, 계속 전극위에 이물질이 타듯이 스파크가 튀는것입니다. 이 현상이 랜덤하게 일어나서, 전극 교체마다 어느때는 괜찮고 어느때는 일어나는 랜덤한 현상인데, 이것의 원인을 모르겠구요... 평소에는 전극 주변에 이물질이 타는거라고 알고는있는데 플라즈마가 안정화가 안되고 이 현상이 계속 유지가 되내요.



두번째는 플라즈마에서 발광 빛의 변형이 일어나는 것인데요,원래 중수소 플라즈마의 발광빛이 656nm 쯤이라 붉은 핑크빛이 나오는데요, 플라즈마를 키고 10분~15분 지나면 갑자기 초록색 비슷한 발광빛이 일시적으로 관측 됩니다.이때 인가전류도 감소하고 , 챔버 내 온도도 ㄱ 감소하더라고요. 챔버 내벽에서 나오는 파티클이 나오는거같아 세척도하고, 전극 표면도 초음파세척을 해주었지만 개선이 안되고있고요.



두번째 이상현상이 일어난후 챔버를 열어보면 ppt의 그림과같이 오염된 자국들이 선명하게 남게됩니다. 평소 세척은 공업용 수세미로 세척을 했었는데, 챔버 벽면에 스크레치가 생길수 있어서 최근에 업체에 맡겨서 내벽 세척을 다 끝내고 실험을 다시 진행했는데요.



5번 슬라이드처럼 다시 전극이 변형된거를 관측했습니다. 이때는 초록빛은 관측되지않고, 단순히 인가전류만 감소하고 결국은 꺼졌습니다.



현재 anode가 cu고 cathode 가 Al인데 개인적인 생각으론 전극으로서 금속선택이 잘못된거 같다고는 생각이 드는데 정확한 원인으로서 증명하기가 힘드네요.

구체적인 현상들은 사진으로 ppt에 첨부했습니다.

이러한 현상에대해 혹시 아신다면 ,알려주시면 정말 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
183 문의 드립니다. [1] 858
182 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 856
181 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 850
180 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 847
179 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
178 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
177 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 835
176 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 835
175 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 832
174 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
173 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 825
172 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 818
171 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 809
170 RF 파워서플라이 매칭 문제 799
169 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 792
168 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 792
167 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 791
166 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 789
165 플라즈마 충격파 질문 [1] 785
164 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 782

Boards


XE Login