Others 연면거리에 대해 궁금합니다.

2020.10.13 15:31

김민수 조회 수:891

안녕하세요. 교수님

저는 하단에 13.56Mhz RF Bias 와 상부의 MW를 통한 2중 Plasma 생성 구조를 가진 Etcher 장비 챔버를 연구하고있습니다.

현 질문의 배경에는 단순하게 척을 감싸는 세라믹의 두께를 증가시켰더니 아킹발생 정도가 줄어든 것인데요.

저는 이걸 연면거리와 관계있다고 생각하는데 몇일 째 확실한 답안을 도출 못해 도움을 요청드립니다.

구글링해본 결과로는 연면거리의 parameter는 가동 전압, 오염도, 격리 유형, 절연물질 저항 등등 다양한 요소가 있는 것 같습니다.

그런데 조절한 값은 세라믹 두께이니 절연물질의 저항? 이 올라간거라고 생각합니다.

근데 이거에 대한 관련 식을 찾아볼 수 도 없었고, 영향력을 수치로써 표현하기가 너무 어렵습니다. 그리고 실제 세라믹 두께 증가로 인한 연면거리 증가가 아킹발생 정도 저하에 실제로 영향을 끼쳤을 지도 확신이 서질 않습니다.

두께값등 구체적인 수치를 나열하기는 양도 많아지고 하여 적지는 않겠지만 교수님이 가지고 계신 개인적인 경험 이야기가 궁금합니다..

답변주시길 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 77991
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20815
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57727
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69236
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93616
216 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 957
215 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 956
214 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 942
213 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 942
212 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 936
211 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 934
210 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 927
209 Self bias 내용 질문입니다. [1] 922
208 Plasma Generator 관련해서요. [1] 922
207 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 900
206 문의 드립니다. [1] 895
205 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 892
» 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 891
203 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 888
202 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 886
201 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 885
200 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 880
199 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 875
198 RF 파워서플라이 매칭 문제 867
197 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 864

Boards


XE Login